Integration av 2D-material för högvolymstillverkning av halvledare
Sammanfattning
Tvådimensionella material (2D-material) med en tjocklek på ett fåtal atomer har förutsättningar för att revolutionera viktiga tillämpningsområden inom sensorteknik, fotonik och elektronik. I dag saknas dock bra tekniker för att integrera materialet i storskalig produktion i halvledarfabriker. Utan en sådan teknik kommer 2D-material inte att användas utanför akademin och därmed inte kunna leverera på sin stora potential. Vår teknik utgör en lovande lösning på detta problem eftersom den endast utnyttjar utrustning och processer som redan finns tillgängliga i halvledarfabriker.
Vår bedömning är att nyttjandet av existerande tillverkningsverktyg och deras leveranskedjor är en förutsättning för att den pris-och riskkänsliga halvledarindustrin ska anamma en integrationsmetod för 2D-material. Målet med projektet är att utveckla och verifiera vår teknik för integration av 2D-material med konventionella halvledarsubstrat till den grad som krävs för produktionslinjer i halvledarfabriker. I ett längre perspektivär aktiviteterna i projektet viktiga steg mot tillämpning av 2D-material i funktionella komponenter, optoelektronik och logikkretsar–innovationer som kommer att vara av strategisk betydelse för svenska teknikföretag i framtiden.
