Elektrisk karakteristika av epitaxiell grafen i waferstorlek för industriell användning mot sensorer

Syfte och mål

Denna förstudie har utförts av Graphensic AB (Graphensic), Acreo Swedish ICT AB (Acreo), Linköpings universitet (LiU) och Lindmark Innovation AB (Lindmark).

Aktörerna har samverkat för att överföra kunskap från akademisk forskning och forskningsinstitut till industri. Material på waferskala har tillverkats. Kontakter har utvecklats samt verifierats genom flertalet karakteriseringsmetoder. Mätapparatur för ytresistans har utvecklats och beröringsfri mätmetod undersökts.

Upplägg och genomförande

Graphensic har kunnat optimera produktionsprocessen och tagit sikte mot att själva utveckla tillämpningar genom projektsamarbetet. Linköpings universitet har undersökt bensenkänslighet som överträffar state-of-the-art. Acreo Swedish ICT har utvecklat processkunnande för grafen på kiselkarbid samt publicerat en artikel avseende grafenbaserad biosensor. Lindmark Innovation har utvecklat kunnande inom kontaktering mot grafen samt mätmetod.

Effekter och resultat

Förstudien har genererat betydande resultat och de aktiva samarbetena som etablerats mellan aktörerna, genom att ett fortsatt utvecklingsprojekt föreslås där målsättning är kommersiell grafenbaserad biosensor. Ny ansökan skrivs nu till SIO Grafens utlysning och möjligtvis även H2020. Kunskapsutbytet har lett till att materialet mognat tillräckligt för industriell tillverkning, då produktionsprocessen nu är verifierad genom flertalet karakteriseringsmetoder. Kompetens finns nu hos aktörerna att även processa och deponera goda kontakter.

Graphensic har tillsammans med LiU producerat grafenbaserade gassensorer med lovande resultat avseende känslighet mot flera gaser av intresse för luftkvalitetskontroll. Dessa resultat erhölls genom att dekorera grafenen med metall- och metalloxidnanopartiklar med användning av skalbara tunna filmavsättningstekniker. Parterna arbetar nu för en djupare undersökning av effekterna av nanopartikelavsättning på sensorns prestanda, och hur partikelmått, enhetlighet och täckning kan styras över större områden för produktion av waferskala. Graphensic har också förvärvat en patentansökan för en grafenbaserad sensoranordning.